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多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀使用原理

更新時(shí)間:2022-05-11點(diǎn)擊次數(shù):747

 多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀使用原理

概述

       ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。 
       ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)等部分組成。  
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度校功能;電壓電流全動(dòng)轉(zhuǎn)換量程;測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能,Z大分類10類。
       探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配**用探頭,也可測(cè)試電池片等箔上涂層電阻率方阻。  
       測(cè)試臺(tái)選配:一般四探針法測(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。二探針法測(cè)試電阻率測(cè)試選SZT-K型測(cè)試臺(tái),也可選配SZT-D型測(cè)試臺(tái)以測(cè)試半導(dǎo)體粉末電阻率,選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)測(cè)試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測(cè)試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考》   
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。    
儀器于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。 
 基本技術(shù)參數(shù) 1. 測(cè)量范圍、分辨率(括號(hào)內(nèi)為可向下拓展1個(gè)數(shù)量級(jí))
     電    阻:10.0×10-6 ~ 200.0×10 Ω,    分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10 Ω  
                (1.0×10-6 ~ 20.00×10 Ω,    分辨率0.1×10-~ 0.01×103 Ω)  
     電 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm   分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10 Ω-cm  
                (1.0×10-6 ~ 20.00×10Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)  
     方塊電阻:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□    分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×10 Ω/□   
                (5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×10 Ω/□)   
2. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)
    直    徑: SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限  
    SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限.
      長(zhǎng)(高)度:  測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    手持方式不限.
     測(cè)量方位:  軸向、徑向均可  
3. 量程劃分及誤差等級(jí) 

滿度顯示200.020.002.000200.020.002.000200.020.002.000
常規(guī)量程kΩ-cm/□kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□---
Z拓展量程---kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□mΩ-cm/□
基本誤差±2%FSB ±4LSB±1.5%FSB ±4LSB±0.5%FSB±2LSB±0.5%FSB ±4LSB±1.0%FSB ±4LSB

  4.工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W  
5.外形尺寸: 245mm(長(zhǎng))×220 mm(寬)×95mm(高) 
   凈   重:≤1.5~2.0kg